Особливості продукту
Підтримка кількох версій (ПЛК/ПК) і різноманітних основних протоколів зв’язку;
Проектування та виробництво виконано відповідно до стандарту безпечного виробництва SEMI;
Висока пропускна здатність каналу, UPH400 ~ 550 шт.;
Підходить для різних розмірів продукту та журналів;
Запатентований дизайн пластини MFC, що запобігає витоку газу від спричинення нещасних випадків (підтримує гази високого-ризику, такі як водень);
Запатентована конструкція камери високого ущільнення, до 5Па;
Кут контакту з водою<10° (related to the material of product surface);
Конструкція чотирьох каналів для одночасної обробки 4 продуктів з подвійними нижніми електродами, що скорочує час входу та виходу плати, значно підвищує ефективність і забезпечує однорідність продукту в обробці.
технічні характеристики
|
Функціональна конфігурація |
Технічні параметри |
|
|
Д×Ш×В (мм) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Обладнання |
Вага нетто (кг) |
1000 |
|
Периферійний зазор (мм) |
600 ззаду, 600 з обох боків |
|
|
палата |
Об'єм (л) |
Близько 9 |
|
Канал (№) |
4 |
|
|
Нижній електрод (шт.) |
2 (функція переходу) |
|
|
Режим годування |
Журнал |
|
|
Адаптивний розмір продукту (мм) |
Ширина:40-100 Довжина:150-300 |
|
|
Електрод |
Розмір електрода (мм) |
528×300 |
|
ВЧ джерело живлення |
Стандартна потужність (кВт) |
1 |
|
Частота (МГц) |
13.56 |
|
|
Газовий контроль |
До трьох каналів |
2 канали (стандарт), 3 канали (опціонально) |
|
Система контролю |
Людино{0}}інтерфейс |
ПК+сенсорний екран |
|
Віддалений інтерфейс |
спілкування |
Додатково |
|
Вакуумний насос |
Додатковий сухий насос |
17CFM |
|
Додатковий масляний насос |
195 CFM |
|
|
Додатковий сухий насос із функцією очищення |
ТАК |
|
|
Швидкість продувки азотом (SLM) |
2 |
|
|
Час пилососіння (с) |
10月15日 |
|
|
Час порушення вакууму (с) |
3-4 |
|
|
Заводські потужності |
Блок живлення |
Три-фаза 380 В 50/60 Гц 4,5 кВт (масляний насос) |
|
Розмір і тип процесу |
1/4 дюйма Swagelok |
|
|
Чистота технологічного газу |
Промисловий клас і вище |
|
|
Тиск технологічного газу (psig) |
10-20 |
|
|
Розмір і тип продувного газопроводу |
1/4 дюйма Swagelok |
|
|
Чистота продувного газу |
Промисловий клас і вище |
|
|
Тиск продувного газу (psig) |
15 |
|
|
Розмір і тип пневматики |
Натискання-на 10 мм |
|
|
Чистота пневматичного газу |
Стиснене повітря, без масла, точка роси менше або дорівнює 7 градусам, частинки<5 |
|
|
Тиск пневматичного газу (psig) |
70-90 |
|
|
Стиснене повітря (мм) |
∅8 |
|
|
Відповідність |
Атестація |
НАПІВ |
|
Допоміжне обладнання |
Генератор азоту (опціонально) |
Додатково для продувки азотом |
|
Кулер для води (опціонально) |
Додатково для охолодження електродів |
|
|
Водневий комплект (опціонально) |
Додатково для обробки воднем |
|
|
Процесор вихлопних газів (опціонально) |
Додатково для обробки вихлопних газів фтором |
|
|
Транспорт |
Загальна вага (кг) |
1050 |
|
Кількість упаковок |
1 |
|
|
Упаковка відповідає стандарту SPM15 |
ТАК |
|
Популярні Мітки: VP-10S Автоматична система вакуумної плазмової обробки, VP-10S Автоматична вакуумна плазмова система обробки