Система плазмової обробки серії VP

Система плазмової обробки серії VP

Нержавіюча сталь вакуумної камери;
Наднизька температура - Температура становить лише 40 градусів;
Всеспрямоване очищення поверхні - Різна плазма може потрапляти в ультра-щілину для очищення;

Особливості продукту

 

1. Нержавіюча сталь вакуумної камери;

2. Наднизька температура - Температура до 40 градусів;

3. Всеспрямоване очищення поверхні - Різна плазма може потрапити в надто-щілину для очищення;

4. Охорона навколишнього середовища -Жодних шкідливих речовин не виробляється до і після обробки, і тримайтеся подалі від шкідливих розчинників для людського організму;

5. Стабільність -Безперервність і постійність для збереження стійкості машин і обладнання в процесі експлуатації;

6. Очищення -Видаліть пил і масло, тонке очищення та статичну електрику;

7. Збудження -Поліпшити адгезійну здатність поверхні та значно збільшити поверхневу енергію об’єкта;

8. Зняття пластин - Зняття шару AF / AS.

 

технічні характеристики

 

Конфігурація функції

Технічний параметр

Модель

ВП-60Л

ВП-80Л

ВП-100Л

ВП-150Л

Розміри (мм)

L=1200; W=920; H=1690

Вакуумна камера

розміри (мм)

L=403; W=400;H=403

L=450; W=400;H=450

L=470; W=460;H=470

L=500; W=600;H=500

Вакуумна камера

матеріал

Нержавіюча сталь

Електродна пластина

розміри (мм)

319(L)×374(W)

320(L)×420(W)

380(L)×440(W)

520(L)×470(W)

Електродна пластина

матеріал

Спеціальний алюмінієвий електрод

Вага (кг)

560

580

630

680

КОНТРОЛЬ

Сенсорний екран PLC+

Електродна пластина

структура

По горизонталі 8 шарів

Вакуумна насосна система

Дво-ступеневий вакуумний насос із ротаційною пластиною/вакуумний насос Рутса

Вакуум

вимірювання

система

Вакуумметр опору Пілані

Вимірювання газу

система

Високоточний масовий витратомір

Генератор плазми

Високоточний плазмовий генератор потужністю 0-500 Вт

Висока точність

0-1000W

плазмовий генератор

Блок узгодження плазми

Високоточний блок автоматичного узгодження потужністю 0-500 Вт

Висока точність

0-1000W

автоматичне зіставлення

одиниця

Робочий вакуум

10-100 Па

Граничний тиск

вакуумний насос

5×10-1 Па

Час досягнення

час (и) вакууму

Менше або дорівнює 55

Менше або дорівнює 70

Менше або дорівнює 80

Менше або дорівнює 100

Час звільнити

час (и) вакууму

Менше або дорівнює 15

Менше або дорівнює 20

Менше або дорівнює 25

Менше або дорівнює 30

Діапазон газового контролю

(sccm)

Масова витрата 0-300 (опціонально)

Масова витрата

0-500 (необов'язково)

Радіочастота

джерело живлення (Вт)

0-500

(Регульований в діапазоні)

0-1000 (діапазон регулювання)

Режим роботи

Ручне, автоматичне керування однією клавішею

Блок живлення

Три фази 380В

Номінальна потужність (кВт)

4

 

Популярні Мітки: Система плазмової обробки серії VP, система плазмової обробки серії VP

Послати повідомлення